下载体声波谐振器的技术资料

文档序号:20492715

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提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;下电极,形成在所述基板上,并且所述下电极的至少一部分形成在腔上;压电层,形成在所述下电极上;上电极,形成在所述压电层上;膜层,形成在所述下电极下方,并且与所述基板一起形成所述腔;以及突出部,...
该专利属于三星电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电机株式会社授权不得商用。

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