下载光微通道板的制备方法、制作设备及产品的技术资料

文档序号:20482680

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本发明提供了一种光微通道板的制备方法、制作设备及产品,涉及光学元件技术领域,为解决用于制备微通道板的传统方法存在生产效率低、能耗大且成本高的技术问题。该光微通道板的制备方法包括以下步骤:(a)提供具有目标图案的掩膜版;(b)提供基板;(c)...
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