下载一种沟槽式肖特基正面银表面金属结构的制造方法的技术资料

文档序号:20450314

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本发明公开了一种沟槽式肖特基正面银表面金属结构的制造方法,该方法包括如下步骤:a.在硅片上形成势垒金属层,形成硅片‑势垒金属结构;b.对硅片‑势垒金属结构进行第一次热处理;c.在势垒金属层上形成第一金属层,形成硅片‑势垒金属‑第一金属层结构...
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