温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种离子注入设备，离子注入腔室的出气口连接组合泵组成尾气排放系统，出气口与组合泵之间的管道为硬管，该硬管为5mm厚的亚克力材质硬管，进气口边缘处设有挡板，挡板尺寸超过进气口的尺寸，可在待注入基板还未移动至出现中断的位置时，阻挡...
该专利属于苏州同冠微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州同冠微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。