下载一种新型光刻胶显影装置及显影方法的技术资料

文档序号:20423896

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本发明公开了一种新型光刻胶显影装置,包括基台固定架、光刻胶板固定架、显影液罐、超纯水罐、缓存槽以及液体流通口;所述显影液罐、超纯水罐选择性的与所述缓冲槽连通,所述缓冲槽内的液体通过液体流通口与外部连通;所述液体流通口位于光刻胶固定架上方,显...
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