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本发明公开了一种太赫兹叠层成像探针位置误差校正方法，该方法包括将探测器采集到的衍射图样进行角谱回传到物平面，由于物平面的衍射图包含着物函数的信息，通过对相邻两幅衍射图回传的物面幅值做互相关运算，由于物面幅值交叠处存在着重复的部分，所以可以通...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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