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本发明涉及一种台板表面污物检测与在线清洗的方法及其装置，其方法是利用不同入射角的检测专用激光扫描台板表面以确认污物的具体位置和几何特征，再针对不同的污物，通过改变清洗专用激光聚焦光斑的直径，获得不同能量的热熔作用，将台板表面的各种污物针对性...
该专利属于南通大学所有，仅供学习研究参考，未经过南通大学授权不得商用。

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