下载一种高品质硅片清洗方法的技术资料

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本发明提供一种高品质硅片清洗方法,包括以下步骤:s1:第一药液清洗;s2:溢流漂洗;s3:第二药液清洗;s4:酸洗;s5:溢流漂洗。本发明的有益效果是大尺寸硅片清洗更加方便快捷,且硅片清洗效率高,采用预清洗、药液清洗、溢流漂洗、药液清洗、酸...
该专利属于内蒙古中环光伏材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古中环光伏材料有限公司授权不得商用。

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