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本实用新型涉及绝缘栅双极晶体管(IGBT)设备。所述IGBT设备可包括有源区,无源区,以及沿着所述有源区中的纵向轴线延伸的沟槽。所述IGBT还可包括第一台面和第二台面,所述第一台面限定所述沟槽的第一侧壁并且与所述沟槽平行,所述第二台面限定所...该专利属于半导体元件工业有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过半导体元件工业有限责任公司授权不得商用。
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本实用新型涉及绝缘栅双极晶体管(IGBT)设备。所述IGBT设备可包括有源区,无源区,以及沿着所述有源区中的纵向轴线延伸的沟槽。所述IGBT还可包括第一台面和第二台面,所述第一台面限定所述沟槽的第一侧壁并且与所述沟槽平行,所述第二台面限定所...