下载一种瞬态电压抑制器及其制作方法的技术资料

文档序号:20393118

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本发明提供一种瞬态电压抑制器及其制作方法,包括:在第一导电类型的衬底中形成第一沟槽和第二沟槽;形成第二导电类型的外延层,包括形成于所述衬底上表面的第一部分,以及分别形成于所述第一沟槽和所述第二沟槽内形成的第二部分;在所述衬底和所述外延层交界...
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