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本申请提供一种工艺设备维护方法、系统及工艺设备维护控制装置。所述工艺设备维护方法包括控制器获取通过设备观察窗的光通量数值。所述光通量数值由设置于设备的外部，并且与所述设备观察窗正对设置的传感器获取。若所述光通量数值小于所述光通量设备维护阈值...
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