下载形成三维存储器的方法以及三维存储器的技术资料

文档序号:20367342

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本发明涉及一种形成三维存储器的方法以及三维存储器。三维存储器包括阵列存储区,阵列存储区具有至少一个块存储区。块存储区包括:具有衬底和位于衬底上的堆叠层,堆叠层包括沿与衬底垂直的方向交替层叠的栅极层和介电层;间隔设置的第一栅线隙和第二栅线隙;...
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