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一种非共振EVC装置的椭圆轨迹误差控制系统制造方法及图纸
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下载一种非共振EVC装置的椭圆轨迹误差控制系统的技术资料
文档序号:20361804
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本发明提供了一种非共振EVC装置的椭圆轨迹误差控制系统,包括对输入电压进行调整输出调整电压的PI逆模型和信号输入端与PI逆模型的信号输出端通信连接的压电陶瓷换能器,调整电压进入压电陶瓷换能器后能够减小椭圆轨迹的位移误差。本发明提供的非共振E...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。
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