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本发明公开了一种FIB‑TIMS测量含铀微粒的同位素比的方法,解决了现有技术存在的流程复杂、耗时长,样品易损失,结果精密度差等问题。首先,通过聚焦离子束的SEM和EDS功能鉴定、定位含铀微粒;然后,通过聚焦离子束的微操作臂控制钨针将含铀微粒...该专利属于中国工程物理研究院材料研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院材料研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种FIB‑TIMS测量含铀微粒的同位素比的方法,解决了现有技术存在的流程复杂、耗时长,样品易损失,结果精密度差等问题。首先,通过聚焦离子束的SEM和EDS功能鉴定、定位含铀微粒;然后,通过聚焦离子束的微操作臂控制钨针将含铀微粒...