下载一种硅片自分片传送定位系统的技术资料

文档序号:20346853

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本发明提供一种硅片自分片传送定位系统,包括安装架、上料提升机构、分片机构、传输机构及自定心机构,上料提升机构设置于安装架上,上料提升机构用于带动内部堆叠放置有若干硅片的片盒向上移动;分片机构分片机构设置于所述上料提升机构的后侧;传输机构设置...
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