下载移动手臂、化学机械研磨修整器和研磨设备的技术资料

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一种移动手臂、化学机械研磨修整器和研磨设备,其中所述移动手臂,包括:包覆手臂主体的外壳以及位于外壳表面的液体收纳装置,所述液体收纳装置用于收纳积累在外壳上的液滴,并将收纳的液滴排到下排管中。本发明的移动手臂,能防止手臂上的液滴滴落到下方的研...
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