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一种喷涂光阻的系统，包括控制模块、回吸装置、泵装置、存储装置、调压装置；所述控制模块与回吸装置、泵装置、存储装置连接，所述回吸装置与喷涂喷口连接，所述泵装置与回吸装置连接，泵装置还与存储装置连接，所述存储装置用于连接光阻瓶出料端，所述调压装...
该专利属于福建省福联集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建省福联集成电路有限公司授权不得商用。

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