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一种图像检测装置的制造方法,包括提供具有前表面及背表面的一基底。上述方法包括去除基底的一第一部分,以形成一第一沟槽。上述方法包括形成一第一隔离结构于第一沟槽内,第一隔离结构具有上表面。上述方法包括去除第一隔离沟槽的一第二部分及基底的一第三部...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种图像检测装置的制造方法,包括提供具有前表面及背表面的一基底。上述方法包括去除基底的一第一部分,以形成一第一沟槽。上述方法包括形成一第一隔离结构于第一沟槽内,第一隔离结构具有上表面。上述方法包括去除第一隔离沟槽的一第二部分及基底的一第三部...