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技术问题：提供一种能够抑制输送过程中的基板表面的损伤、微小异物的附着并获得高品质产品的划线装置。解决手段：采用如下结构，即具备：气浮单元，其在基板(W)输送时以及划线时从浮台(1、11)表面喷出空气而使基板(W)浮起；夹具(2、12)，其把...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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