温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体光刻吸盘技术领域，尤其是一种多功能光刻真空吸盘。该多功能光刻真空吸盘，包括吸盘，通气管和法兰盘，吸盘由表面吸盘和底部吸盘组成，底部吸盘上表面设置一个同心的凹形圆，凹形圆的中心设置第一通孔，第一通孔与通气管连通，表面吸盘的...
该专利属于山东科芯电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东科芯电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。