下载具有改进的电气特征的微机电谐振器以及电子设备的技术资料

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本公开提供了具有改进的电气特征的微机电谐振器以及电子设备。一种MEMS谐振器配备有基底、在由第一轴线和第二轴线形成的水平平面中悬置在基底上方的移动结构,移动结构具有彼此平行并且沿着第二轴线延伸的第一臂和第二臂,第一臂和第二臂通过第一横向接合...
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