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本实用新型的目的在于提供一种药液和超临界流体的混合装置，其防止混合装置的腔室内部的污染的同时，迅速且顺畅地实现药液和超临界流体之间的混合，从而可缩短基板清洗时间。用于实现所述目的的本实用新型的药液和超临界流体的混合装置是用于混合药液和超临界...
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