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一种光学系统，包括硅(Si)衬底(102)、形成在衬底(102)上的隐埋氧化物(BOX)层(104)，形成在BOX层上方的氮化硅(SiN)层(112)，以及形成在SiN层(112)中的SiN波导(114)。在一些实施例中，光学系统可以另外包...
该专利属于菲尼萨公司所有，仅供学习研究参考，未经过菲尼萨公司授权不得商用。

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