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探针(2)为三层基板，在两面的对应的位置形成电极对(E1、E2)，在周边形成保护图案(Ge)。基于共同的探查信号(Vp)将保护图案以及全部的电极驱动为等电位，因此使电极的保护共有化。基于各电极的钳位电流求出静电容，取得间隙数据。...
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