间隙传感器以及间隙测量方法技术

探针(2)为三层基板，在两面的对应的位置形成电极对(E1、E2)，在周边形成保护图案(Ge)。基于共同的探查信号(Vp)将保护图案以及全部的电极驱动为等电位，因此使电极的保护共有化。基于各电极的钳位电流求出静电容，取得间隙数据。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】间隙传感器以及间隙测量方法
本专利技术涉及一种间隙传感器及其测量方法，其检测相向的部件表面的间隙，更具体而言检测面状分布的间隙。
技术介绍
在船舶、飞机等组装技术中，在进行外部面板和内部部件的组装时，需要进行相对位置的对准。例如，飞机的主翼具有盒段构造，该盒段构造包含由翼梁和翼肋组成的骨架而构成，其基端部具有用于与机身结合的框构造。在机身形成有容纳主翼的基端部的大致筒状构造的固定部(支架)，将主翼的基端部插入固定部，通过像茶叶筒那样的构造进行结合。机身的固定部构成为通过2个板部件夹住构成主翼的基端部的板部件，基端部的板部件的两面分别与固定部的板部件经由数毫米左右的间隙而相向。另外，各板部件为铝合金、碳纤维等导电性材料。在结合作业中，进行对准调整，使得机身与主翼成为预定的位置关系，然后插入与间隙空间的形状相匹配的垫片进行连结。另外，在将机身分割成前机身、中机身、后机身进行制造后将各机身部分结合构成机体时也是相同的。在日本专利公报特许4832512号以及日本特开2015－79979号中举例表示了关联技术。
技术实现思路
专利技术要解决的课题通过间隙传感器(feelergauge测隙规，thi本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种间隙传感器，其通过静电容测量法，对相互相向的具有导电性的第1部件的表面与具有导电性的第2部件的表面之间的间隙进行检测，其特征在于，所述间隙传感器具备沿主轴方向延伸的探针以及主体，所述探针的基端部与所述主体连接，且在前端侧设置多个电极，所述探针具有层叠了第1导电层、第2导电层以及第3导电层的多层基板构造，所述第1导电层规定所述探针的第1面，排列形成第1电极群，并形成与第1电极群非电气连接的第1保护层，所述第3导电层规定所述探针的第2面，在与所述第1电极群相应的位置排列形成第2电极群，形成与第2电极群非电气连接的第2保护层，所述第2导电层配置在所述第1导电层与第3导电层之间，在与所述第1电...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.05.26 JP 2017-1040831.一种间隙传感器，其通过静电容测量法，对相互相向的具有导电性的第1部件的表面与具有导电性的第2部件的表面之间的间隙进行检测，其特征在于，所述间隙传感器具备沿主轴方向延伸的探针以及主体，所述探针的基端部与所述主体连接，且在前端侧设置多个电极，所述探针具有层叠了第1导电层、第2导电层以及第3导电层的多层基板构造，所述第1导电层规定所述探针的第1面，排列形成第1电极群，并形成与第1电极群非电气连接的第1保护层，所述第3导电层规定所述探针的第2面，在与所述第1电极群相应的位置排列形成第2电极群，形成与第2电极群非电气连接的第2保护层，所述第2导电层配置在所述第1导电层与第3导电层之间，在与所述第1电极群以及第2电极群相应的位置形成保护电极，形成与保护电极非电气连接的信号图案，信号图案与所述第1电极群以及第2电极群的各电极电气连接，所述主体的控制部：向所述第1保护层、保护电极以及第2保护层施加探查信号，通过所述探查信号，经由所述信号图案对所述第1电极群以及第2电极群的各电极进行电压钳位，通过检测基于电压钳位的钳位电流来测量在各电极位置的间隙。2.根据权利要求1所述的间隙传感器，其特征在于，所述控制部具备：探查信号产生器；驱动电路，其向所述第1保护层、保护电极以及第2保护层施加探查信号的电压，电压钳位电路，其独立地驱动所述第1电极群以及第2电极群的各电极来钳位为所述探查信号的电压；电流检测电路，其检测所述各电极的钳位电流，根据检测出的所述电流计算电容来测量间隙。3.根据权利要求1所述的间隙传感器，其特征在于，电压钳位电路反馈所述探查信号与各电极的电压的误差来进行钳位控制，检测经由钳位电流检测电阻而供给的电流来作为钳位电流，所述钳位电流检测电阻连接在所述电压钳位...

【专利技术属性】
技术研发人员：京冈义照，阿部正人，
申请(专利权)人：株式会社京冈，
类型：发明
国别省市：日本,JP