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异质结肖特基二极管元件制造技术
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文档序号:20286075
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本发明提供了一种异质结肖特基二极管元件,其包括缓冲层、至少一通道层、至少一阻障层以及肖特基金属层。缓冲层配置于基板上。至少一通道层配置于缓冲层上。至少一阻障层配置于至少一通道层上。此外,多个条状开口配置为穿过至少一阻障层与至少一通道层。肖特...
该专利属于新唐科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新唐科技股份有限公司授权不得商用。
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