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本发明涉及一种碳化硅MOSFET器件,由下向上依次层叠设置的漏极、N型SiC衬底层、N型漂移层;JFET区、沟道、P阱,依次位于N型漂移层上,且另一边关于JFET区对称,P阱的厚度小于所述沟道的厚度;P型接触区、N型接触区,均位于P阱上,P...该专利属于秦皇岛京河科学技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过秦皇岛京河科学技术研究院有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种碳化硅MOSFET器件,由下向上依次层叠设置的漏极、N型SiC衬底层、N型漂移层;JFET区、沟道、P阱,依次位于N型漂移层上,且另一边关于JFET区对称,P阱的厚度小于所述沟道的厚度;P型接触区、N型接触区,均位于P阱上,P...