下载闪存的制造方法的技术资料

文档序号:20286040

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本发明公开了一种闪存的制造方法,闪存的存储区的制造步骤包括:步骤一、形成有源区并完成闪存单元的第一栅极结构的制作;有源区由形成于硅衬底表面的场氧隔离并呈条形结构和平行排列;同一行的第一栅极结构的多晶硅控制栅连接在一起并组成多晶硅行;步骤二、...
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