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一种沟槽腐蚀时的硅片保护方法及硅片，其特征在于：在所述硅片表面印刷耐酸蜡，所述耐酸蜡成分包括2‑丁氧基乙醇、滑石粉和乙酸‑2‑(2‑乙氧基乙氧基)乙酯。本发明相较于原工艺的有益效果是采用丝网印刷耐酸胶的工艺代替原有涂覆光刻胶的方法，大大缩短...
该专利属于天津环鑫科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津环鑫科技发展有限公司授权不得商用。

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