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本发明公开了一种太阳能电池片扩散工艺,其特征在于，包括步骤：将硅片进行清洗、制绒处理，再放入扩散炉；将扩散炉温度加热至设定的第一温度，稳定后通入氧气，进行第一次氧化反应；温度加热至设定的第二温度，稳定后通入氧气、三氯氧磷，进行第一次扩散反应...
该专利属于苏州惠捷迦装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州惠捷迦装备科技有限公司授权不得商用。

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