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本发明涉及一种高速传感共焦显微测量方法，属于光学成像与检测技术领域。本发明将共焦轴向特性曲线自身两侧数据组错位相减除以相加得到传感特性曲线，对样品轴向扫描时将轴向扫描间隔定为错位量，扫描完成后将轴向扫描数据中光强最大值和光强次大值相减除以相...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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