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本发明提供一种透射元件多表面面形检测方法，涉及测量技术领域。利用逆向哈特曼光路检测装置测得待测元件波像差的前提下，使用计算机建立的模型化检测系统，在光线追迹模型中对待测元件各表面面形添加多组不同面形误差，获得相应波像差，通过求解模型化检测系...
该专利属于中国计量大学;上海市计量测试技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学;上海市计量测试技术研究院授权不得商用。

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