一种透射元件多表面面形检测方法技术

本发明专利技术提供一种透射元件多表面面形检测方法，涉及测量技术领域。利用逆向哈特曼光路检测装置测得待测元件波像差的前提下，使用计算机建立的模型化检测系统，在光线追迹模型中对待测元件各表面面形添加多组不同面形误差，获得相应波像差，通过求解模型化检测系统中波像差与实测波像差的差值最小值，最终得到待测透射元件的实际面形误差。本发明专利技术解决了现有技术中对透射元件的多表面检测不具有高精度及通用性的技术问题。本发明专利技术有益效果为：为透射元件多表面面形检测提供了一种高精度大动态范围的检测方法。

A Multi-Surface Shape Detection Method for Transmitting Elements

The invention provides a multi-surface shape detection method for transmission elements, which relates to the measurement technology field. On the premise of using reverse Hartmann optical path detection device to measure the wavefront aberration of the element to be measured, a computer-based modelling detection system is used to add multiple groups of different wavefront errors to the surface shape of the element to obtain the corresponding wavefront aberration in the ray tracing model. By solving the minimum difference between the wavefront aberration of the modeled detection system and the measured wavefront aberration, the transmission to be measured is finally obtained. The actual surface error of the element. The invention solves the technical problem that the multi-surface detection of transmission elements in the prior art does not have high accuracy and versatility. The invention has the beneficial effect of providing a high precision and large dynamic range detection method for multi-surface shape detection of transmission elements.

【技术实现步骤摘要】
一种透射元件多表面面形检测方法
本专利技术涉及测量
，尤其是涉及一种用光线像差技术对透射元件多表面面形误差的测量方法。
技术介绍
随着光学技术的发展，光学仪器的应用已遍及生活中的各个方面。具有自由曲面的透射元件作为光学仪器的一种重要组成器件，被广泛应用于各领域中。因此针对透射元件加工误差和整体质量的定量评估变得十分重要。对光学元件的面形检测在光学元件的加工和装调中是必不可少的。中国专利申请公布号CN107560564A，申请公布日2018年1月9日，名称为“一种自由曲面检测方法及系统”的专利技术专利申请文件，公开了用于对自由曲面的透射元件的检测方法及系统。包括：采用三坐标测量设备对包括待测反射球面、投影屏和CCD相机在内的逆向哈特曼检验光路的结构位置参数S进行测量标定；根据测量标定的结构位置参数S，确定待测反射球面的面形误差数据W0；根据测量标定的结构位置参数S和面形误差数据W0，采用泽尼克拟合确定待测球面的面形偏差优化目标；根据确定的面形偏差优化目标，确定初始测量标定的结构位置参数S的各项偏差，并根据所述各项偏差确定待测反射面的实际面形误差ΔW。该方法适用于反射率很高的自由曲本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种透射元件多表面面形检测方法，包括投影屏、待测元件、相机和计算机，其特征在于：方法包括以下步骤：步骤1，对投影屏、待测元件和相机建立基于相位偏折法的逆向哈特曼光学检测系统，并获得检测系统结构位置参数S、待测元件透射波像差Fmeas，待测元件透射波像差Fmeas为检测系统结构引入的结构透射波像差Fsyst与待测元件表面加工误差引入的表面误差透射波像差Fsurf之和，即

【技术特征摘要】
1.一种透射元件多表面面形检测方法，包括投影屏、待测元件、相机和计算机，其特征在于：方法包括以下步骤：步骤1，对投影屏、待测元件和相机建立基于相位偏折法的逆向哈特曼光学检测系统，并获得检测系统结构位置参数S、待测元件透射波像差Fmeas，待测元件透射波像差Fmeas为检测系统结构引入的结构透射波像差Fsyst与待测元件表面加工误差引入的表面误差透射波像差Fsurf之和，即步骤2，依据检测系统位置参数S，在计算机中建立模型化检测系统，得到结构透射波像差Fsyst；步骤3，在模型化检测系统中对待测元件添加面形误差得到拟合波像差使拟合波像差与表面误差透射波像差Fsurf的偏差趋于零，得到表面误差透射波像差Fsurf，由表面误差透射波像差Fsurf再获得待测元件表面面形误差{Wsurf}。2.根据权利要求1所述的一种透射元件多表面面形检测方法，其特征在于：待测元件透射波像差Fme...

【专利技术属性】
技术研发人员：王道档，尹雅梅，孔明，赵军，许新科，雷李华，刘维，郭天太，唐冬梅，
申请(专利权)人：中国计量大学，上海市计量测试技术研究院，
类型：发明
国别省市：浙江,33