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在一实施例，一种化学气相沉积系统包含承载盘、多个晶圆承载器，以及制造过程气体。该承载盘绕着中心轴旋转。多个晶圆承载器位于该承载盘，每个晶圆承载器承载晶圆。该晶圆的周边具有倒角，每个晶圆承载器具有延伸结构，该延伸结构具有水平的底面以及倾斜的承...
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