下载一种耐高温黄变的碱可溶性OC负性光刻胶的技术资料

文档序号:20271409

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本发明提供了一种在高温不发生黄变的碱可溶性OC负性光刻胶,该光刻胶包括20‑30%的含笼型倍半硅氧烷的碱溶性树脂共聚物、5‑15%的含不饱和双键的活性单体、0.1‑3%的光引发剂、60‑70%的有机溶剂和0.5‑1.5%的助剂;其中含笼型倍...
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