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一种用于半导体工艺的腔体盖与顶板的组件及成膜装置，该组件包含一腔体盖、一顶板及一固持机构。该腔体盖包含一可容纳该固持机构的凹部。该顶板包含一平板部及一凸设于该平板部中央的支撑环。该固持机构包含一对臂部、一对分别连接于该对臂部的连接部、一对分...
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