温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
抛光垫，包括：垫片本体，具有研磨面；至少两个相互套设的圈形槽，设置在研磨面上；以及至少一条线形沟槽，设置在研磨面上，穿过每个圈形槽且与被穿过的圈形槽相通，其中，线形沟槽的深度是变化的，深度随着距离最内圈的圈形槽的中心处距离的增加而增加。一方...该专利属于湖北鼎龙控股股份有限公司;湖北鼎汇微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北鼎龙控股股份有限公司;湖北鼎汇微电子材料有限公司授权不得商用。