下载光学检测设备及其光源寻边机构的技术资料

文档序号:20246848

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本实用新型公开了一种应用于检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光源寻边机构、一种光学检测设备及一种可供检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光学检测设备,其中,光源寻边机构由一光源组、一遮蔽组及一调光组所组成,该光源组可产生射向该基板...
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