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本实用新型涉及半导体设备制造领域，公开了一种微波单元，设置在晶圆刻蚀机台内并与放电管连接，包括：微波发生器、微波施加器、管道系统、阀门机构以及控制机构；微波发生器通过管道系统而与微波施加器连接；微波施加器包括多个工作腔和套管，套管和放电管同...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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