温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供一种电场传感器封装组件，其包括：电场敏感芯片，用于测量电场强度；基板，电场敏感芯片设置在基板的上表面上；连接部件，该连接部件用于连接基板和电场敏感芯片；封帽，该封帽与基板的上表面连接形成腔体结构，电场敏感芯片和连接部件设置在腔...该专利属于中国科学院电子学研究所;北京中科飞龙传感技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所;北京中科飞龙传感技术有限责任公司授权不得商用。