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本发明提供一种鳍式晶体管及其形成方法，其中，形成方法包括：提供衬底，所述衬底上具有初始第一鳍部，以及覆盖所述初始第一鳍部侧壁的初始隔离层；以所述初始隔离层为掩膜，刻蚀所述初始第一鳍部，在所述初始隔离层内形成第一凹槽；在所述第一凹槽内形成第一...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。