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低电容静电放电(ESD)器件制造技术
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文档序号:20244982
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本公开涉及半导体结构,更具体地,涉及低电容静电放电(ESD)器件及其制造方法。该结构包括:第一结构,其包括部分地延伸在第一阱之上的第一扩散区域、第二扩散区域和第三扩散区域的图案;以及第二结构,其包括在第二阱中的第四扩散区域,第四扩散区域电连...
该专利属于格芯公司所有,仅供学习研究参考,未经过格芯公司授权不得商用。
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