下载一种解决双面氧化铝结构PERC电池石墨舟污染的方法的技术资料

文档序号:20244928

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本发明涉及PERC太阳能电池生产技术领域,尤其涉及一种解决双面氧化铝结构PERC电池石墨舟污染的方法,包括以下步骤:先在石墨舟表面沉积一层氮化硅膜层,然后在氮化硅膜表面再沉积一层氧化硅膜层。本发明利用氧化硅优异的金属杂质钝化性能和阻挡性能,...
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