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本发明提供了一种用于晶圆的目视检测机及检测方法。所述目视检测机包括：载台，用于支撑待测晶圆；机械手臂，设置于所述载台的两侧，用于抓取所述待测晶圆；其中，所述机械手臂绕第一轴向、第二轴向和第三轴向转动设置，所述第一轴向和所述第二轴向的延伸方向...
该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。

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