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本发明公开了一种低压扩散炉低压扩散工艺，包括以下步骤。步骤S1：将已制绒的待处理硅片匀速推入低压扩散炉，在持续通入大氮的同时将低压扩散炉内的第一至第五温度区域升温至第一预定温度。步骤S2：维持第一至第五温度区域在第一预定温度的同时将低压扩散...
该专利属于嘉兴金瑞光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴金瑞光伏科技有限公司授权不得商用。

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