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本发明公开了一种提高直写曝光机曝光精度以及涨缩测量精度的方法,该方法使用的曝光机的镜头组件和CCD组件分别搭建在实现X、Y、Z三个方向移动的独立运动平台上；先测量基板上Mark点的坐标计算实际距离然后计算出补偿数值，最终对镜头组件的曝光精度...
该专利属于江苏友迪激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏友迪激光科技有限公司授权不得商用。

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