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本发明提供：感光性组合物，其透光性和对于曝光的敏感度良好，通过曝光能形成经充分固化的固化物，在隔着半色调掩模进行曝光时，在形成的图案中，能在全色调曝光部与半色调曝光部之间形成充分的高度差，并且能确保半色调曝光部的充分的高度；使用该感光性组合...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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