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一种掩膜版及其制作方法、半导体器件的形成方法，其中掩膜版包括：基板；位于基板上的挡光层，所述挡光层中具有开口组，所述开口组包括若干两两相邻的开口，各开口贯穿所述挡光层且暴露出基板表面，所述挡光层中还具有贯穿所述挡光层的相移槽口，所述相移槽口...
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