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本发明公开了一种基于光谱共焦传感器的表面疵病测量的方法。本发明将平面反射镜安装于角位移台上，调整光谱传感器与待测工件的距离，完成设定的倾角下谱峰强度数据的采集，调整角位移台到不同倾角，直至完成所有指定倾角下的谱峰强度数据采集；构建“陡度‑距...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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