下载应力探测装置与应力探测矩阵系统的技术资料

文档序号:20239871

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本发明公开了一种应力探测装置与应力探测矩阵系统,应力探测装置包括:硅衬底与探测组件,其中,硅衬底设置有凹槽,探测组件包括柔性衬底、二维层状材料片及探测电路;二维层状材料片设置于柔性衬底的表面,二维层状材料片与硅衬底的表面相贴合,且二维层状材...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。

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